二次电子像分辨率:1.0nm(15KV, WD=4mm);放大倍率:20~2000(低倍模式),100~800000(高倍模式);电子光学系统:电子枪:冷阴极场发射电子源
1. 固体样品表面形貌的低倍、高分辨分析;
无