主要规格及技术指标

*1. 采用激光针孔共焦扫描原理（Laser Confocal）和白光焦点变化扫描（Focus Variation）的双光源原理系统，机型为正置反射式，机身为抗震设计，测量部与载物台为可分离式结构设计，可以拓展安装到500×500 mm以上行程龙门式大型自动载物平台上使用。 2. 检测激光光源：单色半导体激光，最大输出功率1 mW，安全等级2类。 *3. 检测白光光源：高亮度LED，同时具备环形照明、1/8环形照明、同轴落射、混合光照明（比例可调）等多种照明模式，照明角度软件切换，亮度可调。 *4. 信号检测单元：500万或以上实效像素CMOS芯片和16 Bit光电倍增管，灰度等级应在60000级以上。 *5. 总放大倍率≥24000倍，六孔电动转换物镜。 *6. 物镜数量6个，包含：2.5倍、5倍、10倍、20x倍（WD≥3 mm）、50倍（WD≥0.5 mm）和150倍（NA≥0.95），观测视野范围：11 μm-7398 μm。 *7. 角度特性：各倍率可稳定测量倾角≥88度的斜面。 *8. 采用XY电动载物平台，电动移动行程100*100 mm。配合测量部， *9.物镜2.5倍下，观察视野675um×506 μm至7398×5545 μm。 *10. 物镜5倍,工作距离≥22 mm；具备环形光照明功能，具有光学变焦扫描观察功能，观察视野337×253 μm至3699×2773 μm。 *11.物镜10倍工作距离≥16 mm；具备环形光照明功能，具有光学变焦扫描观察功能，观察视野168×126 μm至1849×1386 μm。 *12.物镜150倍工作距离不小于0.2 mm，数值孔径不低于0.95，观察视野11 μm×8.3 μm至123 μm×92 μm。 *13.独立针孔双扫描模式：要求在不改变针孔情况下，可以通过自动调节激光强度来进行正常和高曝光两次扫描，实现对明暗差异大的样品表面进行扫描。不接受通过改变针孔大小来调节进光量的方式。

主要功能及特色

主要用于开展科研中轮廓和断口等形貌的扫描，尤其适用于各种断口的超井深形貌测试。

主要附件及配置

无