钨灯丝;SE、BSE、SE/BSE混合三种成像模式,放大倍率≤10,000(光学);分辨率:导电性良好的样品测量分辨率≥50nm;最大样品厚度:≤50mm;最大样品尺寸:≤80mm(直径);样品移动范围:X≤40mm、Y≤35mm
材料的表面微观结构形貌观察
无